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瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應用

更新時間：2016-09-26 點擊次數(shù)：1592

瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應用

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移

診斷端口用于快速維修和維護

兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是zui苛刻的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準

合規(guī)性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程

化學和腐蝕性高溫過程

需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

產品中心 Trigon™ BCG552ATM 至超高真空 TripleGauge® Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計 Trigon™ BPG552ATM至超高真空雙真空計
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