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美國EXTORR殘余氣體分析儀特點
美國EXTORR殘余氣體分析儀特點
更新時間：2015-09-18 點擊次數：2013
美國EXTORR
殘余氣體分析儀特點
•操作簡單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強
•優(yōu)化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量
•對真空系統(tǒng)檢漏
美國EXTORR殘余氣體分析儀在工藝中的效果
•改善質量
•提高流片量
•減少停機時間
•改進工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
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