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日揚(yáng)矩形閥在分子束外延設(shè)備MBE上的應(yīng)用

更新時(shí)間:2022-10-11      點(diǎn)擊次數(shù):1785

日揚(yáng)矩形閥在分子束外延設(shè)備MBE上的應(yīng)用

國(guó)際上比較專(zhuān)業(yè)的大型MBE設(shè)備供應(yīng)商主要有,美國(guó)的Vecco,法國(guó)的Riber,芬蘭的DCA等。這幾家從實(shí)驗(yàn)室用的小型MBE,到工業(yè)相關(guān)的英寸級(jí)別的圓晶MBE都有供應(yīng)。并且能提供一定的工藝解決方案。

一些超高真空表面科學(xué)的供應(yīng)商,因?yàn)橛脩?hù)有進(jìn)行MBE生長(zhǎng)的需要,也會(huì)提供MBE解決方案,比如德國(guó)/瑞典的Scienta Omicron,德國(guó)的Createc,波蘭的PreVac等。其中,Scienta Omicron的產(chǎn)品線更全一些,從10*10 mm到圓晶都有,印象中其他幾家集中在科研用10*10 mm上。這幾家供應(yīng)商一般不能提供生長(zhǎng)工藝上的支持。

還有一家比較特殊的是德國(guó)的Dr. Eberl MBE-Komponenten,印象中只在科研界見(jiàn)過(guò)他們的產(chǎn)品,在企業(yè)專(zhuān)注在MBE上,也是10*10到圓晶都有。并為部分其他供應(yīng)商提供源爐。

最近歐美對(duì)中國(guó)的MBE系統(tǒng)的出口審查日趨嚴(yán)格,于是國(guó)內(nèi)從事MBE制造的企業(yè)就有了進(jìn)步的動(dòng)力,北京的中科艾科美、上海費(fèi)勉、上海實(shí)路、大連齊維、蘇州華陽(yáng)賽斯、沈陽(yáng)科儀、常州國(guó)成、蘇州焜原等。都在使用或者選型日揚(yáng)的矩形閥門(mén)。

最終MBE產(chǎn)品的質(zhì)量和上下游產(chǎn)業(yè)也密切相關(guān)。追求極限真空時(shí),腔體本身的鋼材品質(zhì)和放氣程度就變得重要,這是和整個(gè)工業(yè)體系相關(guān)的。其中,日揚(yáng)的矩形真空閥門(mén)質(zhì)量YILIU,經(jīng)受了市場(chǎng)的反復(fù)檢測(cè),值得信賴(lài)!

MBE可能是超高真空設(shè)備中WEIYI和實(shí)際生產(chǎn)聯(lián)系緊密的。MBE技術(shù)最大的優(yōu)點(diǎn)是生長(zhǎng)速度慢、結(jié)構(gòu)控制精確。但這同樣也是它最大的缺點(diǎn),對(duì)工業(yè)生產(chǎn)來(lái)說(shuō),它實(shí)在太慢了。也許只能通過(guò)生長(zhǎng)高附加值產(chǎn)品,或者多臺(tái)設(shè)備同時(shí)開(kāi)工來(lái)克服了這一短板,日揚(yáng)真空閥門(mén)現(xiàn)在有優(yōu)惠的批量?jī)r(jià)格,降低設(shè)備成本,滿(mǎn)足市場(chǎng)的需求!


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作者:深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司真空技術(shù)中心

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